中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目官网公示

发布日期:2021-01-21

一、项目编号:

采招中心编号:HZ20200201-0219

采购代理编号:0623-2081N1106080

二、项目名称:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目

  • 供应商官网情况:

第一包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目

供应商信息名称

资格性

审查结果

符合性

审查结果

官网报价(元)

综合

得分

推荐

排名

是否成交

候选人

科特莱思科(上海)商贸有限公司

审核通过

审核通过

1795000

77.56

1

昊臣机电(上海)有限公司

审核通过

审核通过

1680000

76.6

2

广州景帆国际进出口有限公司

审核通过

审核通过

1797000

68.22

3

广州市晞灵国际贸易有限公司

审核通过

审核通过

1798800

67.19

4

 

 

第二包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目

供应商信息名称

资格性

审查结果

符合性

审查结果

官网报价(元)

综合

得分

推荐

排名

是否成交

候选人

湖南华图智能科技有限公司

审核通过

审核通过

2498500

98.22

1

长沙硕德科技有限公司

审核通过

审核通过

2428800

78.58

2

昊臣机电(上海)有限公司

审核通过

审核通过

2430000

77.57

3

深圳摩世达科技有限公司

审核通过

审核通过

2457000

76.19

4

科特莱思科(上海)商贸有限公司

审核通过

审核通过

2400000

71

5

 

四、官网信息

第一包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目

供应商名称:科特莱思科(上海)商贸有限公司

供应商地址:中国(上海)自由贸易娱乐区张衡路1000弄31-32号

官网金额:2498500元

第二包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目

供应商名称:湖南华图智能科技有限公司

供应商地址:湖南省长沙市岳麓区望月湖街道银盆南路066号601房

官网金额:2498500元

 

五、主要标的信息

第一包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目

分项项目名称

(标的名称/条目号/品目名称)

规格型号

(或项目特征描述)

品牌

产地

数量/单位

金额(元)

备注

1

镀膜工艺腔

304不锈钢方形腔室

Kurt J.Lesker

美国

一台

85000

 

2

真空泵系统

CTI低温泵+爱德华

干泵

EDWARDS

美国/英国

1套

370000

 

3

真空测量系统

KJLC 392系列全量

程真空计

Kurt J.Lesker

美国

1套

135000

 

4

系统框架

开放式框架

Kurt J.Lesker

美国

1套

153500

 

5

电子蘇发系统

KL-8型电子枪、

6x20CCt坩埚、

Kurt J.Lesker

德国

1套

450000

 

6

膜厚控制系统

软件集成膜厚控制

Kurt J.Lesker

美国

1套

185000

 

7

控制系统及工作

eKLipse毗软件

Kurt J.Lesker

美国

1套

375000

 

8

配件(晶振片)

KJLCRYSTAL6-G10

Kurt J.Lesker

美国

5盒

2500

 

9

配件(石墨垣

EVCFABEB-29

Kurt J.Lesker

美国

9个

9000

 

10

冷水机

H5-KJ,制冷量5kw

同洲维普

中国

1套

30000

 

第二包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目

分项项目名称

(标的名称/条目号/品目名称)

规格型号

(或项目特征描述)

品牌

产地

数量/单位

金额(元)

备注

1

主反应腔室

AJA 304 S/S不锈钢超高真空反应腔体,腔室尺寸15.6"高 x 14"外径

AJA

美国

1 套

361200

 

2

样品台

最大容纳直径4英寸的基片;最高加热温度850℃,温控精度±1℃

AJA

美国

1 套

113000

 

3

磁控溅射靶枪

AJA 2 英寸超高真空磁控溅射靶枪;靶枪采用稀土磁铁,可以承受 200℃

高温和 10-11Torr 真空环境

AJA

美国

6 套

654000

 

4

射频电源

AJA 300W射频电源,自动匹配网络,含电缆

AJA

美国

2 套

210000

 

5

脉冲直流电源

TruPlasma DC 4000系列脉冲直流电源2KW

TRUMPF

德国

1 套

133500

 

6

真空泵组

主腔室一套:Pfeiffer 700 l/s宽量程涡轮分子泵以及8.8 cfm

(NeoDry15)干式机械泵

预真空室一套:80l/s宽量程复合涡轮分子泵以及4cfm机械前级泵

Pfeiffer

德国

2 套

330000

 

7

电源转换器

SBRF-4-A(射频)/SBDC-4-A(脉冲直流)

AJA

美国

2 套

50000

 

8

气路

MKS质量流量控制计(Ar-100sccm, O2、N2-20sccm),带气动隔离阀和

过滤器

 

MKS

 

美国

 

3 路

 

153000

 

9

预真空室

配有磁性传送臂、带定制样品托盘衬托器、全量程真空计、手动插板阀

AJA

美国

1 套

240000

 

10

膜厚监控系统

SQM-160

Inficon

瑞士

1 套

50000

 

11

工作站及控制系统

Phase II-J

AJA

美国

1 套

105000

 

12

水冷机

CW6000AN

特域

中国

1 个

18000

 

13

耗材(常用靶材)

常用靶材总共6个:Al, Ni, Ge, ITO, NiO, TiO2

中诺新材

中国

6 个

22800

 

14

耗材(加热灯丝)

定制

定制

中国

10 个

58000

 

 

六、娱乐专家名单:何煌(主任评委)、刁一峰、朱丽琴、刘兴武、袁小明(业主评委)

监 委:马春德

七、公告期限

自本公告发布之日起一个工作日。官网供应商如对此公告有异议的,请于此公告发布之日起七个工作日内,以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。

八、其他补充事宜

本次官网公告同时在中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/)中南大学校园网(http://tz.its.csu.edu.cn/)、中南大学采购与app管理中心网(http://czzx.csu.edu.cn/)上发布。

九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系

1、采购人信息

名  称:中南大学

地  址:长沙市麓山南路932号

联系人:张老师

联系方式:0731-88836937

2、app代理机构信息

名 称:湖南省app有限责任公司

地  址:长沙市雨花区湘府东路199号app大厦

联系人:张女士   王女士

联系方式:0731-84511088

3、项目联系方式

项目申购单位:高等研究中心

项目联系人:吴老师

联系电话:15200890109

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